3D Spray coater for photoresist( 3차원 스프레이 코터)                   

 본 장치는 마이크로머신(MEMS) 등 각종 반도체 연구용에 사용되는 스프레이 코터( spray coater )입니다. 미세입자의 스프레이 노즐로 서브스트레이트의 경사면과 요철 등 도포가 곤란한 부분에 균일한 막을 형성합니다.

 수 마이크론의 박막부터 수백 마이크론 두께의 포토레지스트를 균일하게 도포할 수 있으며, 또한 스루홀 기판에도 도포합니다.

   클라리언트사의 AZ-P4000, 마이크로켐의 SU-8 및 BCB 수지 및 각종 폴리머의 도포에 우수한 결과를 보입니다.

 

시료 사이즈: 150x150mm, 또는 ø150mm

시료 이동 스트로크 400mm

스프레이 레지스트 입자경 10~30um

중량 약 150kg

 

 

 

 

 

     

     

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