스핀 에처(spin etcher, 스핀 프로세서, Spin processor )

   
   

Spin Etchers (습식 스핀 에처)

 

    싱글 웨이퍼 타입의 스핀 프로세서는 포토레지스트의 코팅, 현상 , 세정 및 에칭 공정에 적용되는 장비이며, 작업 공정에 필요한 각종 패러미터를 자동으로 조절 및 제공합니다.

 

                     

 

 

 

 

 

 

 

 

     

 

 

 

 

 

 

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