Model JS2D-200

웨이퍼 스핀 드라이어 ( Spin drier )

본 장치는 원심력에 의해서 카세트와 함께 웨이퍼를 건조합니다.

 

사양

웨이퍼 사이즈

직경 6인치, 8인치, 2 또는 4 캐리어

챔버 직경 및 재질

직경 800mm, SUS304

몸체 재질 및 사이즈

스텐레스 소부도장, W900xD1185xH1170

스핀 모터

인덕션 모터, 인버터

RPM

0~1,000 (선택사양 1,200)

RPM indicator

디지털 타코미터

공정 스텝 수

2 스텝

파워 서플라이

220V, 3상, 15A

Dry air

0.5MPa, 5L/min, RC 1/4" 이상

배기

직경 150mm 덕트, 8 입방미터/min, 자동 댐퍼

배수

12A pvc 파이프, 8L/min

 

 

Model JS2D-8S

 

 

 

웨이퍼 스핀 린스 드라이어 ( spin rinser dryer, 스핀 드라이어 )

본 장치는 원심력에 의해서 카세트와 함께 웨이퍼를 린스, 건조합니다.

사양

웨이퍼 사이즈

직경 4, 5, 6, 8 인치 1 캐리어

챔버 직경 및 재질

직경 300~500mm, SUS304

몸체 재질 및 사이즈

SUS304, PVC

기능

DI 린스, N2 드라이, ESD

공정 입력

LCD 터치패널

RPM indicator

디지털 타코미터

공정 스텝 수

10 프로그램, 10 스텝/ 프로그램

파워 서플라이

220V, 3상, 15A

Dry N2

3Kg/cm2

배수

1.5 inch PTFE 파이프,

 

     

     

     

     

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