UV LED 광원  마스크얼라이너 (mask aligner w/ UV LED source)

모 델

COOLUV-100

COOLUV-125

COOLUV-200

마이크로스코프

Dual CCD camera, monitor

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노 광  광 원

365, 405 nm UV LED lamp

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노광용 타이머

0~999 sec. digital timer

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진           공

0.5~0.8 Kg/CM2

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마스크 홀더

진공흡착 고정식

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마스크

진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가)

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mask size

 5"x5"

 6"x6"

 9"x9"

시    료    대

진공흡착 고정식

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시           료

진공흡착 고정식

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wafer size

diameter 100mm 

dia. 125mm 

dia. 200mm 

시 료   두 께

최대 2MM

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매니퓨레이터 이동범위

X,Y: ±12 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 12MM  ,미동 0.2 MM,      θ: ±7도

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resolution

 1um

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전       원

AC 220V 50/60 Hz, 10A

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DIMENSION

1000W  X 800D X 1500H mm(테이블 포함)

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중    량(본체)

100 Kg

120 Kg

150Kg