ball01c.gif Megasonic Mask & Glass Cleaner (초음파 마스크 클리너)                                         

                    

Mask Size

500mmx500mm or less

Chamber Material

SUS 304

Body Size/ Material

1050Wx1250DX1800H mm/SUS

Spin Motor

AC servo Motor

Spin Rotation

Max. 2500 RPM

Brush Rotation

50~200 RPM

Rotation Controller

Digital Controller

Brush Material

Nylon, PVA sponge

Megasonic

1 MHz

Power Supply

AC200V

N2 source

0.2MPa, 50L/min, Ø6 connection

Air source

0.4MPa, 20L/min, Ø6 connection

Pure Water source

0.2MPa, 10L/min, PT1/2 connection

Drainage

2 lines, PVC-25A

Exhaust

2 lines, PVC-100A

Maker

 

 컴팩트한 사이즈이며, 정비가 쉽습니다.

  • 디스크 브러쉬로 마스크를 회전시키며 D.I 클리닝, megasonic, N2 dry 합니다.
  • 초음파(megasonic) 챔버내에서 클리닝 합니다.

 

 

mask cleaner Model GMBC-500M, mask 500x500mm

 

chamber 내에서의 마스크 클리닝(mask cleaning) 공정

 

     

     

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