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<프로브 스테이션, probe station> K-163MW1

 

최대 시료 크기 6 inchφ
시료 고정 진공 흡착법

시료대 슬라이드

100mm 이동

시료대 θ축 이동 360°±10° 미동
시료대 X,Y축 이동 150mm,2mm/회전, 20μm/scale

카드 프로브 홀더

4.5 inch 대응형

암링 및 카드 프로브 홀더 Z축 이동 8mm 전동、수동식 양용
다이알 게이지 포함 10μm/scale
0~100μm미동
암링 및 카드 프로브 홀더 θ축 미동 ±10° 미동
현미경 스탠드 볼 외경24.5mm의 유니버셜로 수평이동 가능

전원

AC100V, 1A

무게 40kg
크기 W 460×D 590×H 440mm
옵션 매니퓨레터?홀더?프로브?현미경?실드 케이스 등

 

     

     

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