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<프로브 스테이션, probe station> K-160MW

 

최대 시료 크기 4 inchφ
시료 고정 진공 흡착법

시료대 슬라이드

90mm 이동

시료대 θ축 이동 360°
시료대 X,Y축 이동 100mm,2mm/1회전 20μm/scale
암링 Z축 이동 8mm
암링 Z축 미동

0~100um

현미경 스탠드 볼 외경24.5mm
무게 18.5kg
크기 W 360×D 456×H 404mm
옵션 매니퓨레터?홀더?프로브?현미경?실드 케이스 등

 

     

     

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