Spin developer                        

<스핀 현상장치, spin developer> JSD-200

 

 

특 징

1. 고성능, 저가격, 컴팩트 탁상타입
2. 기판사이즈 : 1 inch ~ 6 inch 직경
3. LCD 터치패널에서 프로그램입력조작 가능
4. 약액압송펌프내장(가압탱크 불필요)



사 양

1. 기판사이즈 : 1 inch ~ 6 inch wafer (최대 :150x150mm)
2. 기판회전수 : 0 ~ 3000 rpm 임의설정
3. 처리시간설정 : 최소 1 초
4. 프로세스 : 현상액 : 1 계통
린 스 : 1 계통
5. 노 즐 : 프로그램에의한 진각임의설정
센터고정도 가능
6. 본체크기 : 500x400x440(WXDXH)mm
7. 무 게 : 약 35Kg
8. 전원 : AC 100V, 4A
9. 진공 : 350mmHg 이하
10. 국소배기 : 0.3㎥/min

 

 

 

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