Spin developer                        

<스핀 현상장치, spin developer> JS2D-150

 

 

 

특 징

1. 고성능, 저가격, 컴팩트 탁상타입
2. 기판사이즈 : 1 inch ~ 8 inch 직경
3. LCD 터치패널에서 프로그램 입력 조작: 10 스텝/ 프로그램, 10 프로그램
4. 압력 탱크: 현상 및 린스(선택사양)



사 양

1. 기판사이즈 : 1 inch ~ 8 inch wafer (최대 :150x150mm)
2. 기판회전수 : 0 ~ 1500 rpm 임의설정
3. 처리시간설정 : 최소 1 초
4. 프로세스 : 현상액 : 1 계통
린 스 : 1 계통
5. 노 즐 :  임의각 조절, 프로그램에 의한 왕복운동 위치 설정
6. 본체크기 : 600x600x440(WXDXH)mm
7. 무 게 : 약 35Kg
8. 전원 : AC 220V, 4A
9. 진공 : 350mmHg 이하
10. 국소배기 : 0.3㎥/min

11. D.I Pressure tank: 선택사양

 

 

 

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