양극 접합 장치 ( Anodic bonder ), DAB-A-40 대기용 / DAB-AV-40 진공용

  양극 접합장치는 대기중 또는 진공에서 가열한 실리콘 기판과 기타 금속과 글래스를 고전압으로 가열하여

 접합하는 장치입니다.

 

양극 접합 장치

 

 얼라이너 유닛

 

 

 

 

 

양극 접합장치 본체

 

DAB-A-40

DAB-AV-40

100mm dia. 평히터, 최고 가열 온도 섭씨 500도, 온도 분포 + - 20도

전기

히터 콘트롤러

 직류 전압 전원: 최대 1.5 Kw. 10mA

Chart recorder, 폭 100mm

안전

 단수 릴레이, 고전압 인가시 도어 인터락

히터 가열 방지

유틸리티

본체 외형 570Wx750Dx1400H

N2 gas: 0.05~0.1 MPa

냉각수: 0.1 MPa, 2L/min

전원: 3상 220V, 3Kwatt

얼라이너 유니트

 

 

수동 조작

X,Y,Z stage 이동 거리: 각 +- 5mm

Theta  회전 stage +- 5도

정확도: 5um 이하

시료 크기: 기본 직경 100mm 이하, 그 이상일 경우 별도 홀더는 선택사양

MicroscopeL 160X, 2 sights, monitor, illuminator, 렌즈 간격 200~60mm

선택 사양

 

 

고진공 배기 세트( 터보 분자 펌프 탑재)의 본체는 DAB-AV-40

카메라 (1 sight, 70X, 160X)

시료 사이즈 변경: 6" dia., 3" dia., 1" square

복수 스테이지 방식, 고온 타입 ( 최대 섭씨 1200도 )

냉각기, 히터 내장 전극, 고압 분위기 공정

     

     

     

     

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